Funktionale Nanostrukturen in smarten Mikrosystemen
Nanostrukturen, die in Mikrosysteme integriert werden können, liefern wichtige Beiträge, indem sie
? elektronische Komponenten verkleinern,
? neue Funktionalitäten ermöglichen,
? Eigenschaften wesentlich verbessern,
? Sensoren empfindlicher oder selektiver werden lassen,
? den Energiebedarf senken,
? und bei der Systemintegration und der AVT helfen.
Für die industrielle Nutzung gilt es, wichtige Fragen zu klären:
? Wie werden Nanostrukturen ins Mikrosystem integriert?
? Welche Fertigungsverfahren werden genutzt?
? Wie stabil sind sie unter realen Einsatzbedingungen?
? Wie können Nanostrukturen im Mikrosystem charakterisiert und ihre Qualität sichergestellt werden?
? Wie können die Chancen der Mikro-Nano-Integration Kunden und Mitarbeitern vermittelt werden?
Neben Mikrosensorik und AVT rücken neue Technologien wie die 2D-Elektronik in den Fokus, die die Integration komplexer Systeme auch auf Folien und Gläsern ermöglichen.
